供电电源:AC220V
射频电源功率:0-500W 可调
射频频率:25KHz
真空度:≤100Pa
气体路数:双路
气体流量:20—200ml/min(可调)
清洗时间:0—99 分 59 秒连续可调
内腔尺寸:156mm*156mm*165mm
外形尺寸:452mm*340mm*225mm
重量:≈20KG