1.硬质阳极氧化铝加热面板,面板尺寸:220mm*220mm,适合处理最大8”圆晶
2.温度调节范围:室温至300℃
3.铸铝发热部件,最大1KW加热功率,高精数显温控表控制,温度分辨率0.1℃
4.控温精度:<±1℃,温度均匀性:工作区小于±3%
5.外型尺寸:250(W)*270(D)*220(H)