优势特点:
精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点,其操作使用方便、
可任意位置安装、并便于于计算机连接实现自动控制。
规格参数:
1)流量规格:(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10)SLM
2)准确度:±1.5 %F.S
3)线性:±1 %F.S
4)重复精度:±0.2 %F.S
5)响应时间:电特性:10sec 气特性:≤4sec
6)工作压差范围:(0.1~0.5)MPa
7)耐压:3MPa
8)工作环境温度:5℃~45℃
9)输入输出型号:0V~+5.00V
10)电源:+15V 50mA -15V 200mA
11)重量:1.1kg