佰阁科技

1.转速范围：20-10000RPM，转速精度及重复性：±1RPM

2.加速度可控范围：20-50000RPM/S（空载）

3.单步转动时间设置范围：0-3000S，旋转时间分辨率：0.1S                                                                         

4.处理底物尺寸：小于1cm碎片至8英寸（200mm）圆晶或7英寸方形底物                     

5.7寸全彩触摸屏操作，200W工业级伺服电机系统和PLC控制                                                                                 

6.可存贮100个旋涂程序，每个程序100步，每步转速，转动时间，加速度可调

7.可配备最多四路点胶系统（点胶设备需另外配置）

8.程序控制模式带正反转晃动功能，带程序周期运行设置功能                                                     

9.耐腐蚀PP外壳机身，标准的HDPE碗腔，耐腐蚀PC透明盖

10.碗腔盖互锁开关，安全性真空互锁开关

11.标配4英寸铝合金载物盘母盘及10 25 55mm真空套盘各一只

12.外型尺寸：360(W)*480(D)*351(H)